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	       該滑道爐由爐體和軌道支架部分組成,同時(shí)可搭配進(jìn)氣系統(tǒng)和真空裝置組成CVD系統(tǒng)。管式爐默認(rèn)為600mm長的單溫區(qū)設(shè)計(jì),可以形成較長的恒溫區(qū)域,也可定制為雙溫區(qū)或者三溫區(qū)爐膛,以適應(yīng)不同的試驗(yàn)需求。電爐安裝在滑軌支架上,可以實(shí)現(xiàn)快速升降溫,提升實(shí)驗(yàn)效率。爐管可配熱電偶測溫,可以準(zhǔn)確控制反應(yīng)條件。電爐采用智能溫控表控溫,操作簡便直觀。
滑道管式爐應(yīng)用領(lǐng)域:
本產(chǎn)品主要應(yīng)用于需要快速升降溫的實(shí)驗(yàn),尤其適合快速熱處理,也可以與其他設(shè)備共同組成CVD系統(tǒng)。
滑道管式爐技術(shù)參數(shù):
| 
					 單溫區(qū)管式爐  | 
				
					 產(chǎn)品型號  | 
				
					 CY-O1200-50I-T-L600  | 
			
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					 爐膛長度  | 
				
					 820mm  | 
			|
| 
					 加熱區(qū)長  | 
				
					 600mm  | 
			|
| 
					 恒溫區(qū)長  | 
				
					 300mm  | 
			|
| 
					 工作溫度  | 
				
					 0~1100℃  | 
			|
| 
					 控溫精度  | 
				
					 ±1℃  | 
			|
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					 控溫模式  | 
				
					 30段程序控溫  | 
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					 顯示模式  | 
				
					 LED高亮數(shù)碼管  | 
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					 供電電源  | 
				
					 AC:220V 50/60Hz  | 
			|
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					 爐管  | 
				
					 爐管材質(zhì)  | 
				
					 高純石英  | 
			
| 
					 爐管長度  | 
				
					 φ50mm x 2000mm  | 
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					 密封方式  | 
				
					 304不銹鋼真空水冷法蘭  | 
			|
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					 法蘭接口  | 
				
					 1/4英寸卡套接頭  | 
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| 
					 抽氣系統(tǒng)  | 
				
					 機(jī)械泵  | 
				
					 VRD-4  | 
			
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					 抽氣速率  | 
				
					 4L/S  | 
			|
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					 排氣接口  | 
				
					 KF16  | 
			|
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					 真空測量  | 
				
					 電阻規(guī)  | 
			|
| 
					 極限真空  | 
				
					 1×10E-1Pa  | 
			|
| 
					 供電電源  | 
				
					 AC:220V 50/60Hz  | 
			|
| 
					 抽氣接口  | 
				
					 KF16  | 
			|
| 
					 軌道  | 
				
					 軌道長度  | 
				
					 2m 能實(shí)現(xiàn)爐子至少一個(gè)爐位長度的滑動(dòng),實(shí)現(xiàn)快速升降溫  | 
			
	
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