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 - 實驗室鍍膜耗材
 - 其他產(chǎn)品
 
    主要性能指標
1:主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)
2:內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕的超高分子材料(HDPE)
3:旋涂程序:*多可存100組程序,每組100步,每個步驟可**到0.1秒
4:旋涂速度:0-10000rpm
5:旋涂加速度:0-50000rpm/s
6:馬達旋涂轉速穩(wěn)定性能誤差:<±1rpm(CY-AC200-SE);<±0.1rpm(CY-AC200-PE)
7:轉速調(diào)節(jié)精度及重復性:1rpm(CY-AC200-SE);0.1rpm(CY-AC200-PE)
8:CY-AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開關壓力調(diào)節(jié)和電子水平顯示功能
9:工藝時間設定:0-3000sec/step,時間設置精度:0.1sec
10:支持wafer尺寸:碎片至200mm(8''圓晶)
11:旋涂作業(yè)均勻性:<±3%在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米測量)
產(chǎn)品特性優(yōu)點
1:*新的內(nèi)部緊湊設計,縮小了設備的尺寸
2:采用7英寸觸摸屏控制面板,操作更加便捷
3:采用“密閉碗”設計,可以適應各種材料的勻膠工藝。
4:標準配置的轉速為10000rpm,可以根據(jù)用戶需要進行定制
5:采用工業(yè)級的伺服電機,電機獨特的設計可以避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部
6:機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,永不生銹,便于清洗。
7:排風和抽氣系統(tǒng)位于載片臺的底部,利于排風效率和勻膠的均一性
8:透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
	
    
    
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            
                            