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產(chǎn)品名稱：四探針薄膜厚度測(cè)試儀
產(chǎn)品型號(hào)：CY- SZT
產(chǎn)品廠商：成越科儀
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簡(jiǎn)單介紹：

四探針測(cè)試儀用于半導(dǎo)體、薄膜、導(dǎo)電涂層等材料的電學(xué)性能測(cè)試。四探針薄膜厚度測(cè)試儀核心作用是消除接觸電阻和引線電阻的影響，從而獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果

詳情介紹：

四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四線法測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量裝置，配上專用的四探針測(cè)試架，就可以測(cè)量片狀，塊狀或柱狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。四探針測(cè)試架有電動(dòng)，手動(dòng)，手持三種可以選配，另外還配有四個(gè)夾子的四線輸入插頭用來(lái)作為測(cè)量線狀或片狀電阻的中，低阻阻值.

四探針測(cè)試儀（Four-Point Probe）是一種用于測(cè)量材料電阻率（resistivity）和薄層電阻（sheet resistance）的高精度儀器，尤其適用于半導(dǎo)體、薄膜、導(dǎo)電涂層等材料的電學(xué)性能測(cè)試。其核心作用是消除接觸電阻和引線電阻的影響，從而獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。

典型應(yīng)用場(chǎng)景：

半導(dǎo)體行業(yè)：硅片、GaAs等晶圓的電阻率測(cè)試。摻雜工藝后的電學(xué)性能驗(yàn)證。

薄膜材料：ITO（透明導(dǎo)電膜）、太陽(yáng)能電池薄膜、金屬鍍層的薄層電阻測(cè)量。

科研領(lǐng)域：納米材料（石墨烯、碳納米管）、有機(jī)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性分析。

工業(yè)生產(chǎn)：液晶顯示（LCD）、柔性電路（FPC）的導(dǎo)電涂層質(zhì)量控制。

四探針測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	四探針測(cè)試儀
產(chǎn)品型號(hào)	CY- SZT
測(cè)量范圍	電阻率	10??-105?-cm
	方塊電阻	10??- 105?/□
	電阻	10-?- 105 ?
可測(cè)半導(dǎo)體材尺寸	直徑	Ф15-100mm
可測(cè)半導(dǎo)體材尺寸	長(zhǎng)（或高）度	≤400mm
測(cè)量方位	軸向，徑向均可
數(shù)字電壓表	量程	20mV,200mV,2V
	誤差	±0.5%讀數(shù)±2字
	輸入阻抗	>10??
	分辨率	10μV
	點(diǎn)陣液晶顯示	過載顯示
恒流源	電流輸出	共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五擋可通過按鍵選擇，各擋均為定值不可調(diào)節(jié)，電阻率探頭修正系和擴(kuò)散層方塊電阻修正系數(shù)均由機(jī)內(nèi)CPU運(yùn)算后，直接顯示修正后的結(jié)果
恒流源	誤差	±0.5%±2字
四探針測(cè)試頭	探針間距	1mm
	探針機(jī)械游移率	±1.0%
	探針材料	碳化鎢(或高速鋼),Ф0.5mm
電源	交流	220V±10%
電源	功耗	<35W

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